| Item type |
Symposium(1) |
| 公開日 |
2016-09-07 |
| タイトル |
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タイトル |
Self-Aligned Double Patterningのための柔軟な2彩色配線法の提案 |
| タイトル |
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言語 |
en |
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タイトル |
Flexible Two-Colorable Routing for Self-Aligned Double Patterning |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
物理設計･回路設計 |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 |
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資源タイプ |
conference paper |
| 著者所属 |
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東京工業大学工学院情報通信系 |
| 著者所属 |
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東京工業大学工学院情報通信系 |
| 著者所属 |
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東京工業大学工学院情報通信系 |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Information and Communications Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Information and Communications Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Information and Communications Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 著者名 |
木村, 優介
佐藤, 真平
高橋, 篤司
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| 著者名(英) |
Yusuke, Kimura
Shinpei, Sato
Atsushi, Takahashi
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| 論文抄録 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Self-Aligned Double Patterning（SADP） は，側壁スペーサープロセスを用いて微細なパターンを実現するが，SADP で実現できるパターンは 2 彩色可能なパターンに限られる．SADP で実現可能なパターンで配線を実現する様々な配線手法が提案されているが，配線の色を決めながら逐次的に配線を行う配線手法では，既配線の経路と決められた色の影響で，2 彩色可能な配線パターンが得られないことがある．本稿では，配線の色を確定せず逐次的に配線を行うが，配線の色が既配線と同色となるか異色となるかを考慮しながら，できる限り 2 彩色可能性を失わない配線経路を選択することで，2 彩色可能な配線パターンを得られる可能性を高める柔軟な 2 彩色配線手法を提案する． |
| 論文抄録(英) |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Self-Aligned Double Patterning (SADP) realizes fine pitch patterns by using sidewall process, but a pattern must be two-colorable. There are various routing methods for SADP in order to obtain a routing pattern that is two-colorable and that can be realized by SADP. However, a two-colorable routing pattern might not be obtained if a route is iteratively generated with color assignment. In this paper, we propose a flexible routing method for SADP. In our proposed method, a route is iteratively generated without color assignment, but two-colorability of routing pattern is maintained as much as possible during routing by taking the constraint on two-colorability into account, and the probability to obtain a two-colorable routing pattern is increased. |
| 書誌情報 |
DAシンポジウム2016論文集
巻 2016,
号 6,
p. 26-31,
発行日 2016-09-07
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| 出版者 |
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言語 |
ja |
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出版者 |
情報処理学会 |
IPSJ-DAS2016006.pdf (1.9 MB)
